低溫等離子廢氣凈化器反應過程中能量的傳遞大致如下：

1、活性基團+分子(原子)→生成物+熱

2、活性基團+活性基團→生成物+熱

3、電場+電子→電子

4、電子+分子(或原子)→(受激原子、受激基團、游離基團) 活性基團

低溫等離子廢氣凈化器的原理：

一般氣體放電，將會產生等離子，而這種放電現像就是通過某種機制使一個或者多個電子從氣體原理或分子中分離出來，形成氣體媒質，這種媒質 就稱為電離氣體，如果外電場產生了電離氣體，傳導電流就形成了，這種現象就被稱為氣體放電。而這種凈化設備的技術，就是工業廢氣處理的一種原理。低溫等離子體降解污染物是利用這些電子、自由基等活性粒子和廢氣中的污染物作用，使污染物分子在的時間內發生分解，并發生后續的各種反應以達到降 解污染物的目的。

采用脈沖高壓高頻等離子體電源和齒板放電裝置，使其產生、、高電能的活性自由基，在毫秒級的時間內，瞬間對廢氣分子進行氧化還原反應，將廢氣中的大部分污染物降解成二氧化碳和水及易處理的物質。